Loading [MathJax]/extensions/mml2jax.js
Skip to main content
LibreTexts - Ukrayinska

Search

  • Filter Results
  • Location
  • Classification
    • Article type
    • Show Page TOC
    • Cover Page
    • License
    • Transcluded
    • License Version
  • Include attachments
Searching in
About 1 results
  • 7.11: Окислення кремнію
    https://ukrayinska.libretexts.org/%D0%A5%D1%96%D0%BC%D1%96%D1%8F/%D0%9D%D0%B5%D0%BE%D1%80%D0%B3%D0%B0%D0%BD%D1%96%D1%87%D0%BD%D0%B0_%D1%85%D1%96%D0%BC%D1%96%D1%8F/%D0%A5%D1%96%D0%BC%D1%96%D1%8F_%D0%B5%D0%BB%D0%B5%D0%BC%D0%B5%D0%BD%D1%82%D1%96%D0%B2_%D0%BE%D1%81%D0%BD%D0%BE%D0%B2%D0%BD%D0%BE%D1%97_%D0%B3%D1%80%D1%83%D0%BF%D0%B8_(Barron)/07%3A_%D0%93%D1%80%D1%83%D0%BF%D0%B0_14/7.11%3A_%D0%9E%D0%BA%D0%B8%D1%81%D0%BB%D0%B5%D0%BD%D0%BD%D1%8F_%D0%BA%D1%80%D0%B5%D0%BC%D0%BD%D1%96%D1%8E
    У міру переміщення інтерфейсу Si-SiO 2 в кремній його обсяг розширюється, і на основі щільності і молекулярних мас Si і SiO 2 , 0.44 Å Si використовується для отримання 1.0 Å SiO 2 . Під час початково...У міру переміщення інтерфейсу Si-SiO 2 в кремній його обсяг розширюється, і на основі щільності і молекулярних мас Si і SiO 2 , 0.44 Å Si використовується для отримання 1.0 Å SiO 2 . Під час початкової високотемпературної стадії дифузія в оксиді повинна бути досить повільною щодо дифузії в кремнію, щоб легуючі речовини не дифузували через оксид у маскованій області і досягали поверхні кремнію.