6: ВАКУУМНА СИСТЕМА
Всі мас-спектрометри працюють при дуже низькому тиску (високий вакуум). Це зменшує ймовірність зіткнення іонів з іншими молекулами в аналізаторі маси. Будь-яке зіткнення може призвести до того, що іони реагують, нейтралізуються, розсіюються або фрагментуються. Всі ці процеси будуть заважати масовому спектру. Щоб мінімізувати зіткнення, експерименти проводяться в умовах високого вакууму, як правило,10^{-2}10^{-5} \mathrm{~Pa}\left(10^{-4}\right. до10^{-7} torr) dep закінчується на геометрії інструменту. Цей високий вакуум вимагає двох ступенів насоса. Перший етап - це механічний насос, який забезпечує грубий вакуум до0.1 \mathrm{~Pa}\left(10^{-3}\right. торра). Другий етап використовує дифузійні насоси або турбомолекулярні насоси для забезпечення високого вакууму. Прилади ICR мають ще більш високі вимоги до вакууму і часто включають кріогенний насос для третьої стадії накачування. Система насосів є важливою частиною будь-якого мас-спектрометра, але детальне обговорення виходить за рамки цієї статті.